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zyh805277925新虫 (初入文坛)
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[求助]
请问有什么办法能测量复合薄膜的折射率 已有2人参与
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| 硅基底上的10nm的al2o3，再加上1nm的HFo2,想求助一下如何能够测量Hfo2的折射率呢，al2o3的折射率应该会对Hfo2的有影响吧 |
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伽鲁特
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【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
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好像用膜厚仪能测，我用过几次，不太熟，那个是能编辑一个样品的大概结构，每一层什么材料，多厚，折射率和消光系数是多少，然后配合着参比样进行计算和拟合，然后最后能算出结果。你可以了解了解，如果真的能测的话，你还得准备一个si+蓝宝石的一个样品作为参考样。不过你那个就1nm厚，我觉得用什么仪器都够呛 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2016-06-03 22:47:06
summerfox008
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3楼2016-06-17 22:08:54