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zyh805277925

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问有什么办法能测量复合薄膜的折射率 已有2人参与

硅基底上的10nm的al2o3,再加上1nm的HFo2,想求助一下如何能够测量Hfo2的折射率呢,al2o3的折射率应该会对Hfo2的有影响吧
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伽鲁特

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
好像用膜厚仪能测,我用过几次,不太熟,那个是能编辑一个样品的大概结构,每一层什么材料,多厚,折射率和消光系数是多少,然后配合着参比样进行计算和拟合,然后最后能算出结果。你可以了解了解,如果真的能测的话,你还得准备一个si+蓝宝石的一个样品作为参考样。不过你那个就1nm厚,我觉得用什么仪器都够呛

发自小木虫IOS客户端
2楼2016-06-03 22:47:06
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summerfox008

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

椭偏仪应该可以的
3楼2016-06-17 22:08:54
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