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lianjiqing

新虫 (初入文坛)

[交流] 光刻版和掩膜版是一回事么?

各位大神,想问下光刻版是不是就是掩膜版,掩膜版的网格最小孔径大约多少?这个是不是叫做分辨率?多谢大家。

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Wsbgt789

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
最小的孔径能够做到多少呢

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6楼2016-06-07 23:31:54
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cairnstw

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般掩膜版是利用光罩轉印在金屬上,其中的金屬可能是不鏽鋼,Invar,和銅薄版。

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2楼2016-06-06 15:49:49
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lianjiqing

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by cairnstw at 2016-06-06 15:49:49
一般掩膜版是利用光罩轉印在金屬上,其中的金屬可能是不鏽鋼,Invar,和銅薄版。

还是不太清楚具体的工艺过程,那最小尺寸的瓶颈在哪里?是光罩还是光的聚焦呢

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3楼2016-06-07 10:57:34
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cairnstw

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
因為光罩進行影像轉移後,利用?袷轿g刻工藝,所以會有PPI的極限,目前相關公司也利用電鑄方式?硌u作掩膜版,已提昇PPI.

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4楼2016-06-07 23:07:50
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