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lianjiqing

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[交流] 光刻版和掩膜版是一回事么？

各位大神，想问下光刻版是不是就是掩膜版，掩膜版的网格最小孔径大约多少？这个是不是叫做分辨率？多谢大家。

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1楼 2016-06-02 01:03:57

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cairnstw

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一般掩膜版是利用光罩轉印在金屬上，其中的金屬可能是不鏽鋼，Invar,和銅薄版。

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2楼2016-06-06 15:49:49

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lianjiqing

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引用回帖:

2楼: Originally posted by cairnstw at 2016-06-06 15:49:49
一般掩膜版是利用光罩轉印在金屬上，其中的金屬可能是不鏽鋼，Invar,和銅薄版。

还是不太清楚具体的工艺过程，那最小尺寸的瓶颈在哪里？是光罩还是光的聚焦呢

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3楼2016-06-07 10:57:34

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cairnstw

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因為光罩進行影像轉移後，利用?袷轿g刻工藝，所以會有PPI的極限，目前相關公司也利用電鑄方式?硌u作掩膜版，已提昇PPI.

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4楼2016-06-07 23:07:50

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cairnstw

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5楼2016-06-07 23:08:51

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Wsbgt789

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最小的孔径能够做到多少呢

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6楼2016-06-07 23:31:54

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