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花花caca

铁虫 (初入文坛)

[求助] ITO玻璃电极怎么与PDMS键合在一起啊 已有1人参与

ITO玻璃电极为得到一定的形状,进行了涂胶、曝光、刻蚀等步骤,用到了甲醇、AZ develop(显影液)、FeCl3+HCl(刻蚀液)液体,最后用蒸馏水冲洗经N2吹,放在烘箱里烘好,再用等离子处理器处理,PDMS用电晕处理器处理,但就是粘不上。我在想是不是ITO电极玻璃经过这些液体处理后造成的?是不是还要再仔细清洗啥的?具体怎么做呢?求助各位 因为这个实验进行不下去啊,谢谢了
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ptldqkj

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

电晕机比较难掌握的,我们用的是PTL-VM500等离子清洗机,处理后进行贴合,再烘烤增加键合强度,可以试下高强度键合
4楼2018-08-20 15:36:32
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keltaway

木虫 (小有名气)

我想问下,你的显影液是在哪里买的?
2楼2016-08-11 11:11:09
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Solo_Note

新虫 (初入文坛)


用等离子处理器把玻璃和PDMS粘合在一起是需要玻璃上的碳氧碳键,可能是处理时断了?

发自小木虫IOS客户端
3楼2017-03-23 19:22:50
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