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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 其它 » ITO玻璃电极怎么与PDMS键合在一起啊
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花花caca

铁虫 (初入文坛)

[求助] ITO玻璃电极怎么与PDMS键合在一起啊 已有1人参与

ITO玻璃电极为得到一定的形状，进行了涂胶、曝光、刻蚀等步骤，用到了甲醇、AZ develop（显影液）、FeCl3+HCl（刻蚀液）液体，最后用蒸馏水冲洗经N2吹，放在烘箱里烘好，再用等离子处理器处理，PDMS用电晕处理器处理，但就是粘不上。我在想是不是ITO电极玻璃经过这些液体处理后造成的？是不是还要再仔细清洗啥的？具体怎么做呢？求助各位 因为这个实验进行不下去啊，谢谢了
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1楼 2016-05-26 15:34:40
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ptldqkj

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

电晕机比较难掌握的，我们用的是PTL-VM500等离子清洗机，处理后进行贴合，再烘烤增加键合强度，可以试下高强度键合
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4楼2018-08-20 15:36:32
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keltaway

木虫 (小有名气)
我想问下，你的显影液是在哪里买的？
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2楼2016-08-11 11:11:09
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Solo_Note

新虫 (初入文坛)
用等离子处理器把玻璃和PDMS粘合在一起是需要玻璃上的碳氧碳键，可能是处理时断了？

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3楼2017-03-23 19:22:50
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