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磁控溅射靶材发黑
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FLYFWY
木虫
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磁控溅射靶材发黑
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磁控溅射用的黄铜靶,Al靶,Zr靶,前两个在镀膜后非跑道区域发黑,但Zr就没出现这种情况。
镀出来的膜反光都还不错,不知这正不正常。
Zr.png
Al.png
黄铜.png
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1楼
2016-05-13 17:10:38
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FLYFWY
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引用回帖:
12楼
:
Originally posted by
icwafer
at 2016-05-15 23:44:53
中毒
有什么解决办法吗?换靶材?
发自小木虫IOS客户端
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13楼
2016-05-16 09:42:48
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peterflyer
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peterflyer
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专业: 功能陶瓷
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
猜测有可能是发生了氧化所致。
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2楼
2016-05-13 17:45:30
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cyg376116
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虫号: 1121561
注册: 2010-10-13
性别: GG
专业: 金属结构材料
第一感觉也是氧化了,另外纯度怎么样?
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其实你很好!
3楼
2016-05-14 08:54:59
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shi2015
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虫号: 4323934
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专业: 金属材料表面科学与工程
应该是在真空环境下镀膜的啊,怎么会黑了呢,是不是内壁该清理了
发自小木虫Android客户端
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4楼
2016-05-14 09:37:40
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