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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » P型4H-SiC欧姆接触传输线法测出来电阻值过小且没规律，为什么？
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guotao019

新虫 (著名写手)

[求助] P型4H-SiC欧姆接触传输线法测出来电阻值过小且没规律，为什么？ 已有1人参与

N外延片上离子注入铝形成P型4H-SiC，目标浓度为3*10^20 cm-3，深度400nm，箱型分布；做的欧姆接触，P型传输线法测出来电阻值在10欧左右，而且不是呈随着Pad间距增大而电阻增大的趋势。而且按国际上这种浓度激活后的体电阻都在几千欧左右，那么测出来的传输线电阻也起码有数十欧到数百欧。为什么我测出来的电阻这么小而且拟合不出来？
     求大神告知原因？

ps:  金属剥离的很干净。

P型4H-SiC欧姆接触传输线法测出来电阻值过小且没规律，为什么？
P15-annealed-100BEI.jpg
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1楼 2016-05-13 16:10:43
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喵123456

新虫 (初入文坛)
我也遇到了同样的问题，请问你解决了吗？我觉得可能是测试的问题，我用的两探针测i-v

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3楼2017-05-04 10:24:34
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AWUC

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你是用什么做的sic离子注入的掩膜？  你怎么确定你的离子注入是你想要的浓度以及分布？
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4楼2018-07-01 21:02:33
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