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guotao019新虫 (著名写手)
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P型4H-SiC欧姆接触传输线法测出来电阻值过小且没规律，为什么？ 已有1人参与
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N外延片上离子注入铝形成P型4H-SiC，目标浓度为3*10^20 cm-3，深度400nm，箱型分布；做的欧姆接触，P型传输线法测出来电阻值在10欧左右，而且不是呈随着Pad间距增大而电阻增大的趋势。而且按国际上这种浓度激活后的体电阻都在几千欧左右，那么测出来的传输线电阻也起码有数十欧到数百欧。为什么我测出来的电阻这么小而且拟合不出来？ 求大神告知原因？ ps: 金属剥离的很干净。  P15-annealed-100BEI.jpg |
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