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guotao019

新虫 (著名写手)

[求助] P型4H-SiC欧姆接触传输线法测出来电阻值过小且没规律,为什么? 已有1人参与

N外延片上离子注入铝形成P型4H-SiC,目标浓度为3*10^20 cm-3,深度400nm,箱型分布;做的欧姆接触,P型传输线法测出来电阻值在10欧左右,而且不是呈随着Pad间距增大而电阻增大的趋势。而且按国际上这种浓度激活后的体电阻都在几千欧左右,那么测出来的传输线电阻也起码有数十欧到数百欧。为什么我测出来的电阻这么小而且拟合不出来?
     求大神告知原因?

ps:  金属剥离的很干净。

P型4H-SiC欧姆接触传输线法测出来电阻值过小且没规律,为什么?
P15-annealed-100BEI.jpg
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祝福
2楼2016-05-13 20:13:04
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喵123456

新虫 (初入文坛)

我也遇到了同样的问题,请问你解决了吗?我觉得可能是测试的问题,我用的两探针测i-v

发自小木虫Android客户端
3楼2017-05-04 10:24:34
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AWUC

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你是用什么做的sic离子注入的掩膜?  你怎么确定你的离子注入是你想要的浓度以及分布?
4楼2018-07-01 21:02:33
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