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nuning20

新虫 (正式写手)

[求助] 如何检测硅片表面氧化层的厚度?具体步骤如何 已有1人参与

本人最近在做工业硅片的氧化,1000℃保温4h,想要看硅片横截面氧化层的厚度,请问具体操作如何?还有,工业硅片的规格尺寸有何要求(主要是厚度)?横截面切割后应该如何弄?急求啊!各位有经验的大神请帮帮忙!
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
nuning20: 金币+5, 有帮助 2016-05-08 21:25:09
不用切割截面,直接用椭偏仪测量就可以
2楼2016-05-07 18:43:13
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nuning20

新虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2016-05-07 18:43:13
不用切割截面,直接用椭偏仪测量就可以

如果想要观看截面的氧化层呢,应该怎么处理才能保证氧化层不被破坏掉?
3楼2016-05-08 21:45:21
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