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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 如何检测硅片表面氧化层的厚度？具体步骤如何
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nuning20

新虫 (正式写手)

[求助] 如何检测硅片表面氧化层的厚度？具体步骤如何 已有1人参与

本人最近在做工业硅片的氧化，1000℃保温4h，想要看硅片横截面氧化层的厚度，请问具体操作如何？还有，工业硅片的规格尺寸有何要求（主要是厚度）？横截面切割后应该如何弄？急求啊！各位有经验的大神请帮帮忙！
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1楼 2016-05-07 15:46:17
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nuning20: 金币+5, ★有帮助 2016-05-08 21:25:09
不用切割截面，直接用椭偏仪测量就可以
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2楼2016-05-07 18:43:13
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nuning20

新虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2016-05-07 18:43:13
不用切割截面，直接用椭偏仪测量就可以

如果想要观看截面的氧化层呢，应该怎么处理才能保证氧化层不被破坏掉？
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3楼2016-05-08 21:45:21
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