| 查看: 951 | 回复: 2 | |||
LAnza_lw银虫 (小有名气)
|
[求助]
磁控溅射腔室防残留污染的方法
|
|
生产中上一批溅射使用的靶材在腔室上的残留可能会影响的下一批的生产，为了防止其发生，采用那些方法比较便捷、有效？ 有些设备会用锡箔纸保护墙壁，如果使用可拆卸无磁性的保护板保护腔室，保护板上镀有一层膜，完成一次生产后，将保护板换下，换上干净板继续生产；将用过的保护板放在水或者其他无污染溶剂中，与保护板上的膜层发生作用，洗掉该膜层与溅射残留物，起到清洁的作用。有没有专家能不能指正一下我所描述的过程是否有误，以及该镀膜是什么，清洗用溶剂是什么？谢谢 @zbhwel |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
085400电子信息求调剂
已经有3人回复
-
复试调剂，求调剂
已经有0人回复
-
工程热物理与能源利用论文润色/翻译怎么收费?
已经有194人回复
-
0855 332调剂
已经有0人回复
-
0858专硕.339分求调剂
已经有0人回复
-
机械工程一志愿中石油华东337分，国奖两个，有专利，中共党员，求调剂
已经有0人回复
-
310分求调剂
已经有0人回复
-
机械学硕调剂互助
已经有6人回复
-
求调剂
已经有0人回复
-
中国计量科学研究院振动与惯性实验室2026年调剂招生一名
已经有0人回复
2楼2016-05-05 08:06:01
caojingpie
木虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2302.9
- 散金: 15
- 帖子: 173
- 在线: 55.8小时
- 虫号: 4213592
- 注册: 2015-11-12
- 性别: GG
- 专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶
3楼2016-05-15 07:26:08
50