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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 磁控溅射腔室防残留污染的方法
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LAnza_lw

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射腔室防残留污染的方法

生产中上一批溅射使用的靶材在腔室上的残留可能会影响的下一批的生产，为了防止其发生，采用那些方法比较便捷、有效？
有些设备会用锡箔纸保护墙壁，如果使用可拆卸无磁性的保护板保护腔室，保护板上镀有一层膜，完成一次生产后，将保护板换下，换上干净板继续生产；将用过的保护板放在水或者其他无污染溶剂中，与保护板上的膜层发生作用，洗掉该膜层与溅射残留物，起到清洁的作用。有没有专家能不能指正一下我所描述的过程是否有误，以及该镀膜是什么，清洗用溶剂是什么？谢谢 @zbhwel
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PVD，磁控溅射，金属镀膜，研发工程师
1楼 2016-05-03 22:08:04
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perry

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★
LAnza_lw(20091783代发): 金币+3 2016-09-24 21:26:57
厂家配件有保护板，咨询厂家不是更方便

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2楼2016-05-05 08:06:01
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caojingpie

木虫 (小有名气)
★ ★ ★
LAnza_lw(20091783代发): 金币+3 2016-09-24 21:27:06
清洗衬板，看你镀什么涂层了

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3楼2016-05-15 07:26:08
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