| 查看: 978 | 回复: 2 | |||
LAnza_lw银虫 (小有名气)
|
[求助]
磁控溅射腔室防残留污染的方法
|
|
生产中上一批溅射使用的靶材在腔室上的残留可能会影响的下一批的生产，为了防止其发生，采用那些方法比较便捷、有效？ 有些设备会用锡箔纸保护墙壁，如果使用可拆卸无磁性的保护板保护腔室，保护板上镀有一层膜，完成一次生产后，将保护板换下，换上干净板继续生产；将用过的保护板放在水或者其他无污染溶剂中，与保护板上的膜层发生作用，洗掉该膜层与溅射残留物，起到清洁的作用。有没有专家能不能指正一下我所描述的过程是否有误，以及该镀膜是什么，清洗用溶剂是什么？谢谢 @zbhwel |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
282，求调剂
已经有14人回复
-
282，电气工程专业，求调剂
已经有12人回复
-
电气科学与工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有232人回复
-
282，电气工程专业，求调剂，不挑专业
已经有9人回复
-
华北理工大学矿业工程学院招调剂
已经有1人回复
-
华北理工大学矿业工程学院招调剂
已经有0人回复
-
申请博士求职
已经有1人回复
-
合肥工业大学邵冰冰课题组2026年电气工程方向博士研究生（学术博士、工程博士）招生
已经有1人回复
-
合肥工业大学邵冰冰课题组2026年电气工程方向博士研究生（学术博士、工程博士）招生
已经有1人回复
-
【全奖博士招生】英国埃克塞特大学 | 构网型风力发电机对电力系统稳定性与韧性的研究
已经有3人回复
-
5.8截止，211高校邵冰冰课题组2026年电气工程方向博士研究生（学术、工程博士）招生
已经有1人回复
2楼2016-05-05 08:06:01
caojingpie
木虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2302.9
- 散金: 15
- 帖子: 173
- 在线: 55.8小时
- 虫号: 4213592
- 注册: 2015-11-12
- 性别: GG
- 专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶
3楼2016-05-15 07:26:08