| 查看: 1074 | 回复: 2 | |||
LAnza_lw银虫 (小有名气)
|
[求助]
磁控溅射腔室防残留污染的方法
|
|
生产中上一批溅射使用的靶材在腔室上的残留可能会影响的下一批的生产，为了防止其发生，采用那些方法比较便捷、有效？ 有些设备会用锡箔纸保护墙壁，如果使用可拆卸无磁性的保护板保护腔室，保护板上镀有一层膜，完成一次生产后，将保护板换下，换上干净板继续生产；将用过的保护板放在水或者其他无污染溶剂中，与保护板上的膜层发生作用，洗掉该膜层与溅射残留物，起到清洁的作用。有没有专家能不能指正一下我所描述的过程是否有误，以及该镀膜是什么，清洗用溶剂是什么？谢谢 @zbhwel |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
硕士招生-能源动力、动力工程及工程热物理、新能源科学与工程、建环、材料等工科背景
已经有1人回复
-
已确定
已经有2人回复
-
机械工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有115人回复
-
北京航空航天大学宇航学院 张新华副教授课题组招收 2026年申请考核制博士生
已经有2人回复
-
科研工业磁场实验优选！WDS-50卧式电磁铁
已经有0人回复
-
2026年叶企孙基金
已经有7人回复
-
小白求助 投论文要求的highlights应该如何写
已经有4人回复
-
国防科技大学喷雾燃烧与低温推进导师组2027 年博士生及硕士生招生
已经有0人回复
-
国防科技大学喷雾燃烧与低温推进导师组2027 年博士生及硕士生招生
已经有0人回复
-
青C基金意见评审
已经有21人回复
2楼2016-05-05 08:06:01
caojingpie
木虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2302.9
- 散金: 15
- 帖子: 173
- 在线: 55.8小时
- 虫号: 4213592
- 注册: 2015-11-12
- 性别: GG
- 专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶
3楼2016-05-15 07:26:08