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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 制备成型 » 关于磁控溅射旋转靶材和平面靶材的区别
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ly2829

铁虫 (小有名气)

[交流] 关于磁控溅射旋转靶材和平面靶材的区别 已有4人参与

前者比后者更加昂贵，这是为什么呢，它们结构不同吗？我准备买靶材，才发现还有两种靶材，到底有何不同呢
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1楼 2016-05-03 19:33:50
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洛阳学子

荣誉版主 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
前者的利用率高些

发自小木虫Android客户端
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http://www.its.org/http://zhy-xianger.blog.163.com/blog/static/5678852220094304245190/
2楼2016-05-03 21:52:05
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ly2829

铁虫 (小有名气)
我知道，但二者结构上有何不同？
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3楼2016-05-05 10:22:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
旋转靶的使用率可达到75%左右，远高于平面靶的25%左右的数值。
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4楼2016-05-05 11:12:07
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ly2829

铁虫 (小有名气)
实验室常见的还是平面的吧，工业上才用旋转的吗
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5楼2016-05-05 11:14:33
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九哥_003

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by ly2829 at 2016-05-05 10:22:43
我知道，但二者结构上有何不同？

只是形状不一样而已。旋转靶使用率高，但生产工艺略复杂
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6楼2016-05-05 12:01:35
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北京众诚新材

捐助贵宾 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
实验室用推荐平面靶材，方便操作
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7楼2016-11-29 18:01:38
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