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conpepapro新虫 (小有名气)
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磁控长Ta保护层,可以正常起辉光,但是发现无法沉积薄膜到基片上,请问怎么回事? 已有1人参与
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| 之前一直是在另一个靶位,现在换了个靶位,但是工艺参数都没变,可以起辉但是无法成膜,现在很郁闷不知道咋回事? |
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conpepapro
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5楼2016-05-04 21:28:34
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2楼2016-05-02 06:30:14
minglight9
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3楼2016-05-04 14:34:20
conpepapro
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