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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控长Ta保护层，可以正常起辉光，但是发现无法沉积薄膜到基片上，请问怎么回事？
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conpepapro

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控长Ta保护层，可以正常起辉光，但是发现无法沉积薄膜到基片上，请问怎么回事？ 已有1人参与

之前一直是在另一个靶位，现在换了个靶位，但是工艺参数都没变，可以起辉但是无法成膜，现在很郁闷不知道咋回事？
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1楼 2016-04-30 16:22:34
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与，应助指数 +1
靶位换了，先确定衬底的位置也跟着换了，以及衬底在所换靶位相对的位置。
两个 靶位有什么区别吗？
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2楼2016-05-02 06:30:14
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师
查一下磁场是否有反向的。

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再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
3楼2016-05-04 14:34:20
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conpepapro

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2016-05-02 06:30:14
靶位换了，先确定衬底的位置也跟着换了，以及衬底在所换靶位相对的位置。
两个 靶位有什么区别吗？

靶间距不同，磁场强度不同，别的一样了。

发自小木虫IOS客户端
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4楼2016-05-04 21:28:14
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conpepapro

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by minglight9 at 2016-05-04 14:34:20
查一下磁场是否有反向的。

啊？磁控的磁场不是固定的么？

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5楼2016-05-04 21:28:34
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师
引用回帖:
5楼: Originally posted by conpepapro at 2016-05-04 21:28:34
啊？磁控的磁场不是固定的么？
...

一般都是小磁铁拼成磁场环，如果其中一个小磁铁反向了，那就有可能起辉，但溅射不出东西。还有就是加大溅射功率试试。

发自小木虫Android客户端
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再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
6楼2016-05-04 21:52:44
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jun480313

新虫 (初入文坛)
请问你这个问题解决了吗
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7楼2016-08-27 10:43:05
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