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conpepapro

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控长Ta保护层,可以正常起辉光,但是发现无法沉积薄膜到基片上,请问怎么回事? 已有1人参与

之前一直是在另一个靶位,现在换了个靶位,但是工艺参数都没变,可以起辉但是无法成膜,现在很郁闷不知道咋回事?
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与,应助指数 +1
靶位换了,先确定衬底的位置也跟着换了,以及衬底在所换靶位相对的位置。
两个 靶位有什么区别吗?
2楼2016-05-02 06:30:14
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师

查一下磁场是否有反向的。

发自小木虫Android客户端
再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
3楼2016-05-04 14:34:20
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conpepapro

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2016-05-02 06:30:14
靶位换了,先确定衬底的位置也跟着换了,以及衬底在所换靶位相对的位置。
两个 靶位有什么区别吗?

靶间距不同,磁场强度不同,别的一样了。

发自小木虫IOS客户端
4楼2016-05-04 21:28:14
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conpepapro

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by minglight9 at 2016-05-04 14:34:20
查一下磁场是否有反向的。

啊?磁控的磁场不是固定的么?

发自小木虫IOS客户端
5楼2016-05-04 21:28:34
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minglight9

铁杆木虫 (著名写手)

工程师

引用回帖:
5楼: Originally posted by conpepapro at 2016-05-04 21:28:34
啊?磁控的磁场不是固定的么?
...

一般都是小磁铁拼成磁场环,如果其中一个小磁铁反向了,那就有可能起辉,但溅射不出东西。还有就是加大溅射功率试试。

发自小木虫Android客户端
再牛逼的肖邦也弹不出老子的悲伤。
6楼2016-05-04 21:52:44
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jun480313

新虫 (初入文坛)

请问你这个问题解决了吗
7楼2016-08-27 10:43:05
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