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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 【求助】四探针测试导电性的方法？
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风中男子

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】四探针测试导电性的方法？

那位高人知道四探针测试导电性的时候，样品可不可以制备成薄膜状态，如果是薄膜的状态的样品要沉积在什么东西上面可以测试，（硅片还是其他的什么玻璃就可以）

如果不可以测试薄膜状态的样品的导电性，不知道还有什么方法可以用来测试导电性。
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1楼 2008-10-27 22:25:02
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li_yw

木虫 (小有名气)
★ ★ ★
zt970831(金币+3):感谢您的交流
四探针可以测薄膜电阻,不过得到的是方块电阻,需要知道薄膜厚度才能换算出电阻率.
薄膜最好是做在不导电的衬底上,这样得到的结果才可靠.或者带SiO2的硅片.普通商业硅片上的氧化层厚度太薄,对测量结果会有一定的影响.
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2楼2008-10-28 09:19:00
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bluesky238

木虫 (正式写手)
★ ★
zt970831(金币+2):感谢您的交流
但是要注意测量薄膜跟测量体材的电阻计算公式是不一样的，两个是从不同的电场分布假设过来的
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3楼2008-10-28 17:14:30
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风中男子

银虫 (小有名气)
谢谢前辈指教
感激不尽
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4楼2008-10-29 22:05:50
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风中男子

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by li_yw at 2008-10-28 09:19:
四探针可以测薄膜电阻,不过得到的是方块电阻,需要知道薄膜厚度才能换算出电阻率.
薄膜最好是做在不导电的衬底上,这样得到的结果才可靠.或者带SiO2的硅片.普通商业硅片上的氧化层厚度太薄,对测量结果会有一定的影响.

还想请教一下
测试对所做出来的薄膜又什么要求，厚度要达到多少，薄膜的面积（长和宽）大概要多少才可以
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5楼2008-11-28 12:39:52
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bluesky238

木虫 (正式写手)
★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流，欢迎常来物理版
一般四探针探针间的间距为1mm，样品的长度应该是20倍探针间距的，宽度在10倍间距以上，长宽越大越好
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6楼2008-11-28 15:29:03
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majieyuan

金虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金币+5,VIP+0):感谢您的交流，欢迎常来物理版
注意：
膜的要求：
1.粗糙度不要太大（大于膜厚肯定不行的）
2.最好脑子里清楚你的膜是导体、绝缘体、还是半导体，即大概电阻（方阻值），否则测出来的值你就不知道是不是准.
3.膜厚大概是多少要自己测一下，台阶仪很方便。因为你测得薄膜方阻和薄膜的厚度有很大关系的。eg：ITO导电薄膜的厚度越大、电阻（方阻）就越小。
4.面积等尺寸无要求
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7楼2008-11-28 16:07:09
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风中男子

银虫 (小有名气)
谢谢!,非常感谢！
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8楼2008-11-28 17:30:42
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li_yw

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 风中男子 at 2008-11-28 12:39:

  


还想请教一下
测试对所做出来的薄膜又什么要求，厚度要达到多少，薄膜的面积（长和宽）大概要多少才可以

bluesky238和majieyuan 两位说的很详细啦.
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9楼2008-11-29 14:29:13
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