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风中男子

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】四探针测试导电性的方法?

那位高人知道四探针测试导电性的时候,样品可不可以制备成薄膜状态,如果是薄膜的状态的样品要沉积在什么东西上面可以测试,(硅片还是其他的什么玻璃就可以)

如果不可以测试薄膜状态的样品的导电性,不知道还有什么方法可以用来测试导电性。
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majieyuan

金虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金币+5,VIP+0):感谢您的交流,欢迎常来物理版
注意:
膜的要求:
1.粗糙度不要太大(大于膜厚肯定不行的)
2.最好脑子里清楚你的膜是导体、绝缘体、还是半导体,即大概电阻(方阻值),否则测出来的值你就不知道是不是准.
3.膜厚大概是多少要自己测一下,台阶仪很方便。因为你测得薄膜方阻和薄膜的厚度有很大关系的。eg:ITO导电薄膜的厚度越大、电阻(方阻)就越小。
4.面积等尺寸无要求
7楼2008-11-28 16:07:09
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li_yw

木虫 (小有名气)

★ ★ ★
zt970831(金币+3):感谢您的交流
四探针可以测薄膜电阻,不过得到的是方块电阻,需要知道薄膜厚度才能换算出电阻率.
薄膜最好是做在不导电的衬底上,这样得到的结果才可靠.或者带SiO2的硅片.普通商业硅片上的氧化层厚度太薄,对测量结果会有一定的影响.
2楼2008-10-28 09:19:00
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bluesky238

木虫 (正式写手)

★ ★
zt970831(金币+2):感谢您的交流
但是要注意测量薄膜跟测量体材的电阻计算公式是不一样的,两个是从不同的电场分布假设过来的
3楼2008-10-28 17:14:30
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风中男子

银虫 (小有名气)

谢谢前辈指教
感激不尽
4楼2008-10-29 22:05:50
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