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磁控溅射AZO靶材后，靶材周边和中心有一圈黄色的东西 已有2人参与
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研一科研小白，昨天第一次用磁控溅射做AZO薄膜，然后溅射结束后，样品透明度很低，并且靶材，周边和中心有黄色的东西，而且可以用砂纸擦掉。请教各位大神这是什么东西，是怎么产生的？另外就是在溅射过程中，辉光有些不稳。老师解释说可能仪器是新的，可能磁性太强，至于黄色的东西，她也不太清楚。 发自小木虫Android客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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这种情况基本还是不可避免的，肯定影响成膜质量，和靶材本身质量有关，也与溅射环境有关，靶材质量方面高密度、表面质量洁净，溅射环境也主要是干净吧 发自小木虫Android客户端 |
4楼2016-04-23 20:10:41
