| 查看: 1636 | 回复: 5 | ||||
[交流]
磁控溅射AZO靶材后，靶材周边和中心有一圈黄色的东西 已有2人参与
|
研一科研小白，昨天第一次用磁控溅射做AZO薄膜，然后溅射结束后，样品透明度很低，并且靶材，周边和中心有黄色的东西，而且可以用砂纸擦掉。请教各位大神这是什么东西，是怎么产生的？另外就是在溅射过程中，辉光有些不稳。老师解释说可能仪器是新的，可能磁性太强，至于黄色的东西，她也不太清楚。 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
科研求助
已经有3人回复
-
面上没中，邀请各位路过的虫友分析一下分数
已经有15人回复
-
博士去二本高校当辅导员，如何调整心态？
已经有10人回复
-
面上有专家说实验设备不是我们单位的
已经有6人回复
-
江苏省自然基金 什么时候出结果
已经有6人回复
-
广西大学-广州大学招聘博士后 欢迎广大优秀人才！！！
已经有11人回复
-
闲聊
已经有3人回复
-
两块石头
已经有10人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急
已经有15人回复
-
初秋的晨风
已经有6人回复
风雨人生
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 13841.4
- 红花: 7
- 帖子: 2749
- 在线: 412.9小时
- 虫号: 2080918
- 注册: 2012-10-23
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
2楼2016-04-23 17:19:59
3楼2016-04-23 18:13:37
风雨人生
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 13841.4
- 红花: 7
- 帖子: 2749
- 在线: 412.9小时
- 虫号: 2080918
- 注册: 2012-10-23
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
这种情况基本还是不可避免的，肯定影响成膜质量，和靶材本身质量有关，也与溅射环境有关，靶材质量方面高密度、表面质量洁净，溅射环境也主要是干净吧 发自小木虫Android客户端 |
4楼2016-04-23 20:10:41
5楼2016-04-23 20:21:23
6楼2016-04-27 20:38:45