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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射AZO靶材后，靶材周边和中心有一圈黄色的东西
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红烧油麦菜

铁虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射AZO靶材后，靶材周边和中心有一圈黄色的东西 已有2人参与

研一科研小白，昨天第一次用磁控溅射做AZO薄膜，然后溅射结束后，样品透明度很低，并且靶材，周边和中心有黄色的东西，而且可以用砂纸擦掉。请教各位大神这是什么东西，是怎么产生的？另外就是在溅射过程中，辉光有些不稳。老师解释说可能仪器是新的，可能磁性太强，至于黄色的东西，她也不太清楚。

磁控溅射AZO靶材后，靶材周边和中心有一圈黄色的东西


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薄膜制备与特性

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1楼 2016-04-23 13:14:54
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风雨人生

至尊木虫 (著名写手)
★
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溅射过程中产生的结瘤吧

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天道酬勤
2楼2016-04-23 17:19:59
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红烧油麦菜

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 风雨人生 at 2016-04-23 17:19:59
溅射过程中产生的结瘤吧

恩，这个会影响成膜吧，但是这个在溅射过程中就产生了，也没法立即拿出来打磨一下，只能等溅射完了，才能拿出来。这个怎么避免啊？

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3楼2016-04-23 18:13:37
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风雨人生

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这种情况基本还是不可避免的，肯定影响成膜质量，和靶材本身质量有关，也与溅射环境有关，靶材质量方面高密度、表面质量洁净，溅射环境也主要是干净吧

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天道酬勤
4楼2016-04-23 20:10:41
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红烧油麦菜

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 风雨人生 at 2016-04-23 20:10:41
这种情况基本还是不可避免的，肯定影响成膜质量，和靶材本身质量有关，也与溅射环境有关，靶材质量方面高密度、表面质量洁净，溅射环境也主要是干净吧

好的，谢谢，非常感谢！

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5楼2016-04-23 20:21:23
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lanycorp

金虫 (正式写手)

澜毅新材
商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
引用回帖:
4楼: Originally posted by 风雨人生 at 2016-04-23 20:10:41
这种情况基本还是不可避免的，肯定影响成膜质量，和靶材本身质量有关，也与溅射环境有关，靶材质量方面高密度、表面质量洁净，溅射环境也主要是干净吧

检查下靶材纯度。
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6楼2016-04-27 20:38:45
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