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coolclark

铜虫 (初入文坛)

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虫号: 3878568
注册: 2015-05-19
专业: 微/纳机械系统

[求助] MEMS加工工艺已有2人参与

请问有谁知道光刻工艺中套刻是什么意义？如果有资料的话麻烦发到wuligang2012@163.com邮箱里，十分感谢。

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1楼 2016-04-21 09:54:04

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研材-jiali

捐助贵宾 (小有名气)

应助: 3 (幼儿园)
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红花: 3
帖子: 106
在线: 36.8小时
虫号: 4534227
注册: 2016-03-23
性别: MM
专业: 半导体微纳机电器件与系统

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

套准 registration
在某给定的集成电路或器件的一套掩模正确迭加时，其中每一块掩模的全部功能图形与其他任何一块掩模版上相应图形相对位置的准确度达到允许的范围；或者说，半导体集成电路工艺中所有功能层之间相互迭加时，各层之间的图形相对位置的准确度达到允许的范围。

2楼2016-04-22 11:25:05

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松井咲子

铜虫 (小有名气)

应助: 2 (幼儿园)
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帖子: 59
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虫号: 3311460
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性别: GG
专业: 微/纳机械系统

【答案】应助回帖

很简单啊，无论是硅表面工艺还是体硅工艺，都不可能（或很难）用一次光刻来完成所有图案，这就要求多次光刻。而每次光刻之前要和上次的图案进行对准，不然就跑偏了

3楼2016-06-08 18:12:26

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