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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 无掩膜光刻图形怎么画，急急急~
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Linsanity16

新虫 (初入文坛)

[求助] 无掩膜光刻图形怎么画，急急急~

各位大神，我才刚刚入手科研，有一事请教，最近刚刚做出来几个样品（BFO），做了一下XRD，发现还可以，想进一步测一下其铁电性等等，但是要先做光刻，然后镀电极...想问一下光刻的话光刻图形怎么确定，就是要画成什么形状的图形啊，完全不懂，还有电极要用什么材料为好呢，请各位大神指点迷津~
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1楼 2016-04-16 15:43:27
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perry

新虫 (初入文坛)
你是不是不知道哪些该画成阴影的哪些是透着的？早根据你的工艺定，看你的工艺应该是负胶，也就是掩膜版上不需要的画成透光的，需要的做成有阴影不透光的就行。

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7楼2016-05-16 09:03:30
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研材-jiali

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去下个L-edit安装，或者用CAD也可以画，网上有L-edit的教程，一搜就出来了
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Linsanity16
2楼2016-04-20 16:59:37
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Linsanity16

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 研材-jiali at 2016-04-20 16:59:37
去下个L-edit安装，或者用CAD也可以画，网上有L-edit的教程，一搜就出来了

嗯嗯，还有哈，我想问一下就是老板给了我一片掩膜版，上面是圆孔，我还看到他那里有其他形状的，请问掩膜版的图形设计有什么说法呢，不同的掩膜图形有什么区别呢？

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3楼2016-04-21 10:09:17
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研材-jiali

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引用回帖:
3楼: Originally posted by Linsanity16 at 2016-04-21 10:09:17
嗯嗯，还有哈，我想问一下就是老板给了我一片掩膜版，上面是圆孔，我还看到他那里有其他形状的，请问掩膜版的图形设计有什么说法呢，不同的掩膜图形有什么区别呢？
...

什么意思？画板图就那样画就行了，学会了很简单的。基本上看看教程就懂了~最后光刻出来的图形就是掩模版上的图形
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4楼2016-04-21 10:36:50
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