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Linsanity16

新虫 (初入文坛)

[求助] 无掩膜光刻图形怎么画,急急急~

各位大神,我才刚刚入手科研,有一事请教,最近刚刚做出来几个样品(BFO),做了一下XRD,发现还可以,想进一步测一下其铁电性等等,但是要先做光刻,然后镀电极...想问一下光刻的话光刻图形怎么确定,就是要画成什么形状的图形啊,完全不懂,还有电极要用什么材料为好呢,请各位大神指点迷津~
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perry

新虫 (初入文坛)


你是不是不知道哪些该画成阴影的哪些是透着的?早根据你的工艺定,看你的工艺应该是负胶,也就是掩膜版上不需要的画成透光的,需要的做成有阴影不透光的就行。

发自小木虫IOS客户端
7楼2016-05-16 09:03:30
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研材-jiali

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去下个L-edit安装,或者用CAD也可以画,网上有L-edit的教程,一搜就出来了

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2楼2016-04-20 16:59:37
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Linsanity16

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 研材-jiali at 2016-04-20 16:59:37
去下个L-edit安装,或者用CAD也可以画,网上有L-edit的教程,一搜就出来了

嗯嗯,还有哈,我想问一下就是老板给了我一片掩膜版,上面是圆孔,我还看到他那里有其他形状的,请问掩膜版的图形设计有什么说法呢,不同的掩膜图形有什么区别呢?

发自小木虫Android客户端
3楼2016-04-21 10:09:17
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研材-jiali

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引用回帖:
3楼: Originally posted by Linsanity16 at 2016-04-21 10:09:17
嗯嗯,还有哈,我想问一下就是老板给了我一片掩膜版,上面是圆孔,我还看到他那里有其他形状的,请问掩膜版的图形设计有什么说法呢,不同的掩膜图形有什么区别呢?
...

什么意思?画板图就那样画就行了,学会了很简单的。基本上看看教程就懂了~最后光刻出来的图形就是掩模版上的图形
4楼2016-04-21 10:36:50
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