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Linsanity16

新虫 (初入文坛)

[求助] 无掩膜光刻图形怎么画,急急急~

各位大神,我才刚刚入手科研,有一事请教,最近刚刚做出来几个样品(BFO),做了一下XRD,发现还可以,想进一步测一下其铁电性等等,但是要先做光刻,然后镀电极...想问一下光刻的话光刻图形怎么确定,就是要画成什么形状的图形啊,完全不懂,还有电极要用什么材料为好呢,请各位大神指点迷津~
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perry

新虫 (初入文坛)


你是不是不知道哪些该画成阴影的哪些是透着的?早根据你的工艺定,看你的工艺应该是负胶,也就是掩膜版上不需要的画成透光的,需要的做成有阴影不透光的就行。

发自小木虫IOS客户端
7楼2016-05-16 09:03:30
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