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southr

新虫 (初入文坛)

[交流] 电子束蒸发蒸镀金属,Al,Ag等,如何降低表面粗糙度? 已有7人参与

最近刚刚开始蒸镀金属,Al,Ag,在电镜下看,全是小颗粒,非常粗糙,问下有什么办法让镀出来的金属表面平整一些?

电子束蒸发蒸镀金属,Al,Ag等,如何降低表面粗糙度?
AL.jpg
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
镀的时候速率慢一点,也可镀完退火比较下,总共四组对照。

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慎独
2楼2016-04-13 00:03:51
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
镀率降低一点,还可以加热镀

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3楼2016-04-13 10:59:40
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fengaoyou

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
速率慢点还是可以的,镀Cr的话0.1或0.2a估计就可以得到比较好的表面

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4楼2016-04-14 01:03:29
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southr

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by vincentwz at 2016-04-13 10:59:40
镀率降低一点,还可以加热镀

这个就是用很慢的速率镀出来的,0.05A/s
然后加热的话,多少温度合适?我们试过300°,改进不大
5楼2016-04-14 22:59:02
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zzkejing

禁虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖内容被屏蔽

6楼2016-04-16 10:56:47
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盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)

专家


首先旋转蒸镀,速率再降低,设备其实也是很重要的因素,可以进一步讨论,站内信留下联系方式
7楼2016-04-17 13:14:14
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吃个果冻

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
基板是什么,测过基板的平整度吗?基板不平,镀出来也不行
8楼2017-02-16 09:04:44
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fengaoyou

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
衬底选取,ebl电流,金属种类

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9楼2017-03-29 20:22:10
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zh821217339

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问你的金属是用什么仪器蒸镀上的?
知识的力量是无穷大的
10楼2017-03-29 20:55:31
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