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电子束蒸发蒸镀金属,Al,Ag等,如何降低表面粗糙度?
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southr
新虫
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专业: 电磁场与电路
[交流]
电子束蒸发蒸镀金属,Al,Ag等,如何降低表面粗糙度?
已有7人参与
最近刚刚开始蒸镀金属,Al,Ag,在电镜下看,全是小颗粒,非常粗糙,问下有什么办法让镀出来的金属表面平整一些?
AL.jpg
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1楼
2016-04-12 20:07:30
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southr
新虫
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专业: 电磁场与电路
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3楼
:
Originally posted by
vincentwz
at 2016-04-13 10:59:40
镀率降低一点,还可以加热镀
这个就是用很慢的速率镀出来的,0.05A/s
然后加热的话,多少温度合适?我们试过300°,改进不大
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5楼
2016-04-14 22:59:02
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叫我小川兄吧
木虫
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专业: 半导体材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
镀的时候速率慢一点,也可镀完退火比较下,总共四组对照。
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慎独
2楼
2016-04-13 00:03:51
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vincentwz
铁杆木虫
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专业: 物理电子学
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
镀率降低一点,还可以加热镀
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3楼
2016-04-13 10:59:40
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fengaoyou
木虫
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帖子: 283
在线: 187.5小时
虫号: 2735378
注册: 2013-10-18
专业: 光学
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
速率慢点还是可以的,镀Cr的话0.1或0.2a估计就可以得到比较好的表面
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4楼
2016-04-14 01:03:29
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