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二氧化钛薄膜 已有1人参与
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旋涂后退火，薄膜就开裂了。请问是什么原因呢？退火温度是大概200分钟升温到450度，保持两个小时再200分钟降温到室温。 有人说薄膜太厚，那旋涂怎么减小膜厚？我已经是滴得很少了，一滴。能均匀覆盖玻璃。尝试改变退火温度，还是开裂啊 @dut_ameng 发自小木虫Android客户端 |
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3楼2016-04-10 10:06:22
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退火之后拿去做一下XPS,看看主要成分，打能谱也行！升温时注意阶段保温，将挥发溶剂和可分解溶剂分开去除！再看看微观结构！ 发自小木虫Android客户端 |
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//ab4楼2016-04-11 23:10:19
