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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 前沿热点 » 二氧化钛薄膜
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//ab

新虫 (小有名气)

[求助] 二氧化钛薄膜 已有1人参与

旋涂后退火，薄膜就开裂了。请问是什么原因呢？退火温度是大概200分钟升温到450度，保持两个小时再200分钟降温到室温。
有人说薄膜太厚，那旋涂怎么减小膜厚？我已经是滴得很少了，一滴。能均匀覆盖玻璃。尝试改变退火温度，还是开裂啊

@dut_ameng 发自小木虫Android客户端
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1楼 2016-04-08 22:07:10
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
你好 你这个能旋涂在硅片上吗？我想你帮我做个试验
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5楼2016-04-12 10:00:59
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tylord

银虫 (小有名气)
可以试试加大转速！还不行就得调整溶胶了！升温过程在一些温区要适当保温。

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hi
2楼2016-04-09 00:14:55
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//ab

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by tylord at 2016-04-09 00:14:55
可以试试加大转速！还不行就得调整溶胶了！升温过程在一些温区要适当保温。

你好，我尝试过改变转速，时间。退火出来的薄膜一直有发黑开裂脱落的现象。用手一抹就没有了

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3楼2016-04-10 10:06:22
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tylord

银虫 (小有名气)
退火之后拿去做一下XPS,看看主要成分，打能谱也行！升温时注意阶段保温，将挥发溶剂和可分解溶剂分开去除！再看看微观结构！

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//ab
hi
4楼2016-04-11 23:10:19
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