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//ab

新虫 (小有名气)

[求助] 二氧化钛薄膜 已有1人参与

旋涂后退火，薄膜就开裂了。请问是什么原因呢？退火温度是大概200分钟升温到450度，保持两个小时再200分钟降温到室温。
有人说薄膜太厚，那旋涂怎么减小膜厚？我已经是滴得很少了，一滴。能均匀覆盖玻璃。尝试改变退火温度，还是开裂啊

@dut_ameng 发自小木虫Android客户端
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1楼 2016-04-08 22:07:10
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tylord

银虫 (小有名气)
可以试试加大转速！还不行就得调整溶胶了！升温过程在一些温区要适当保温。

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hi
2楼2016-04-09 00:14:55
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//ab

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by tylord at 2016-04-09 00:14:55
可以试试加大转速！还不行就得调整溶胶了！升温过程在一些温区要适当保温。

你好，我尝试过改变转速，时间。退火出来的薄膜一直有发黑开裂脱落的现象。用手一抹就没有了

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3楼2016-04-10 10:06:22
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tylord

银虫 (小有名气)
退火之后拿去做一下XPS,看看主要成分，打能谱也行！升温时注意阶段保温，将挥发溶剂和可分解溶剂分开去除！再看看微观结构！

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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

//ab
hi
4楼2016-04-11 23:10:19
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
你好 你这个能旋涂在硅片上吗？我想你帮我做个试验
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5楼2016-04-12 10:00:59
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//ab

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by dezhuli at 2016-04-12 10:00:59
你好 你这个能旋涂在硅片上吗？我想你帮我做个试验

我没有硅片哎

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6楼2016-04-12 14:11:32
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//ab

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by tylord at 2016-04-11 23:10:19
退火之后拿去做一下XPS,看看主要成分，打能谱也行！升温时注意阶段保温，将挥发溶剂和可分解溶剂分开去除！再看看微观结构！

好的谢谢啦!

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7楼2016-04-12 14:11:50
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
引用回帖:
6楼: Originally posted by //ab at 2016-04-12 14:11:32
我没有硅片哎
...

我给你邮寄一片 你可以用TiO2给我实验一片吗 氧化钛成瓷了吧
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8楼2016-04-12 14:17:59
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非同寻常

木虫 (小有名气)
二氧化钛膜本身稍加热就易开裂的，如果为了成膜可以与其他材料共混。
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Lxt&Mr
9楼2016-04-13 08:04:17
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//ab

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by dezhuli at 2016-04-12 14:17:59
我给你邮寄一片 你可以用TiO2给我实验一片吗 氧化钛成瓷了吧...

可以的

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10楼2016-04-13 15:42:47
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