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旋涂后退火，薄膜就开裂了。请问是什么原因呢？退火温度是大概200分钟升温到450度，保持两个小时再200分钟降温到室温。 有人说薄膜太厚，那旋涂怎么减小膜厚？我已经是滴得很少了，一滴。能均匀覆盖玻璃。尝试改变退火温度，还是开裂啊 @dut_ameng 发自小木虫Android客户端 |
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14楼2017-08-21 11:09:56