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CHN1314

金虫 (正式写手)

[求助] 钛合金上磁控溅射制备了约2微米厚的薄膜,怎么拍截面的扫描

现在的情况是:对试样进行侧面抛光后,SEM下看截面的线扫,测不出膜的成分来,估计是抛光的时候把膜给磨掉了,按照老师的建议,热镶之后再抛光,依然测不出来,貌似在基体与镶嵌料之间有空隙,就是说镶嵌料不紧密。现在应该怎么办啊,如何线扫测出薄膜的成分?
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CHN1314

金虫 (正式写手)

引用回帖:
16楼: Originally posted by xiaoping_007 at 2016-04-20 07:54:38
镶嵌抛光后测量截面你所需那层的成分...

我就是这么做的,形貌大致可以看到,成分测得不对啊

发自小木虫Android客户端
17楼2016-04-20 11:02:07
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L-lutt

木虫 (小有名气)

如果要看薄膜,为什么不直接把薄膜做在脆性衬底上直接看?金属材料断面很难制备吧?总觉得抛光会把薄膜的断面抛没了

发自小木虫Android客户端
5楼2016-04-09 15:33:35
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匿名

用户注销 (小有名气)

本帖仅楼主可见
6楼2016-04-09 16:25:57
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CHN1314

金虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by L-lutt at 2016-04-09 15:33:35
如果要看薄膜,为什么不直接把薄膜做在脆性衬底上直接看?金属材料断面很难制备吧?总觉得抛光会把薄膜的断面抛没了

还要在金属上做氧化实验呢

发自小木虫Android客户端
7楼2016-04-13 02:14:18
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