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小y_无心

银虫 (小有名气)

[求助] 原子层淀积的三氧化二铝一层是多少埃? 已有2人参与

一层三氧化二铝的高度是多少呢?

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lhtly88

铜虫 (小有名气)

我们做96个pass是20nm,具体是多少可以算算……另外,理论计算和实际还是有出去的

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活出自己的精彩
6楼2016-05-06 11:12:09
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allen2009

至尊木虫 (著名写手)

2楼2016-04-07 22:58:11
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774887362

新虫 (初入文坛)

生长速率是一圈一埃。一层多厚要看晶格常数

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3楼2016-04-09 00:28:14
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774887362

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
三氧化二铝晶格常数4.7埃,但是原子层沉积的是非晶,一层的厚度不好说,不过量级应该差不多

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4楼2016-04-10 20:32:35
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