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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 原子层淀积的三氧化二铝一层是多少埃？
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小y_无心

银虫 (小有名气)

[求助] 原子层淀积的三氧化二铝一层是多少埃？ 已有2人参与

一层三氧化二铝的高度是多少呢？

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1楼 2016-04-07 21:32:22
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allen2009

至尊木虫 (著名写手)
0.1纳米

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2楼2016-04-07 22:58:11
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774887362

新虫 (初入文坛)
生长速率是一圈一埃。一层多厚要看晶格常数

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3楼2016-04-09 00:28:14
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774887362

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
三氧化二铝晶格常数4.7埃，但是原子层沉积的是非晶，一层的厚度不好说，不过量级应该差不多

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4楼2016-04-10 20:32:35
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Eric钟

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

依照溫度跟前駆物会有所不同
TMA+H2O, 80C~250C, 約 0.9 A~1.07 A/cycle
TMA+O3, 80C~200C,約 0.4 A ~ 0.9A /cycle
TMA+O2 plasma, 250C, 約0.9A/cycle
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小y_无心
5楼2016-04-16 11:40:33
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lhtly88

铜虫 (小有名气)
我们做96个pass是20nm，具体是多少可以算算……另外，理论计算和实际还是有出去的

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活出自己的精彩
6楼2016-05-06 11:12:09
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小y_无心

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by Eric钟 at 2016-04-16 11:40:33
依照溫度跟前駆物会有所不同
TMA+H2O, 80C~250C, 約 0.9 A~1.07 A/cycle
TMA+O3, 80C~200C,約 0.4 A ~ 0.9A /cycle
TMA+O2 plasma, 250C, 約0.9A/cycle

谢谢

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7楼2016-12-21 16:00:06
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