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kevin123581

金虫 (正式写手)

[求助] YSZ溅射靶材摔地上碎掉了,胶水粘起来能用么? 已有5人参与

YSZ溅射靶材摔地上碎掉了,胶水粘起来能用么?
虽然沉积是高温下,但是怕胶水部分也会沉积到薄膜上去
有遇到过类似情况的朋友么?

xiexie
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

引用回帖:
15楼: Originally posted by wangyong832 at 2016-04-07 19:57:26
1. YSZ本身没有磁性,对磁场强度以及磁力线方向影响不大;
2. 我的非磁性合金靶 经我粘在铜上面  没有在缝隙处放电,可能与粘的方法有关。
3. 没有遇到过。
4. 粘合剂不会用在缝隙处,只用在和Cu基座接触的背面 ...

虽然以前实验室作过溅镀,但主要经验在 TFT厂。
靶材是用铟合金焊在铜基板,另外 I-V已经进入异常辉光放电区域了…
16楼2016-04-07 20:34:04
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jinpengfei

金虫 (知名作家)

Y稳定氧化锆? 用导电胶在背面把靶材粘起来 放到靶材台子上 建议
2楼2016-04-05 19:06:37
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
个人认为应该是不行的。其一,胶水会参与到溅射的过程之中,造成薄膜中杂质的大量存在;其二,胶水粘结的再好也会存在裂纹缝隙,造成尖端放电,严重影响溅射的过程。
3楼2016-04-06 10:00:42
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wangyong832

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
kevin123581: 金币+2, ★★★很有帮助 2016-04-08 11:12:51
用银浆重新占在一个铜基座上 可以用的。我们经常这么干

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2016-04-06 14:02:06
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