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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » YSZ溅射靶材摔地上碎掉了，胶水粘起来能用么？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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kevin123581

金虫 (正式写手)

[求助] YSZ溅射靶材摔地上碎掉了，胶水粘起来能用么？ 已有5人参与

YSZ溅射靶材摔地上碎掉了，胶水粘起来能用么？
虽然沉积是高温下，但是怕胶水部分也会沉积到薄膜上去
有遇到过类似情况的朋友么?

xiexie
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1楼 2016-04-05 18:34:38
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
个人认为应该是不行的。其一，胶水会参与到溅射的过程之中，造成薄膜中杂质的大量存在；其二，胶水粘结的再好也会存在裂纹缝隙，造成尖端放电，严重影响溅射的过程。
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3楼2016-04-06 10:00:42
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wangyong832

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
kevin123581: 金币+2, ★★★很有帮助 2016-04-08 11:12:51
用银浆重新占在一个铜基座上 可以用的。我们经常这么干

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2016-04-06 14:02:06
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jinpengfei

金虫 (知名作家)
Y稳定氧化锆? 用导电胶在背面把靶材粘起来 放到靶材台子上 建议
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2楼2016-04-05 19:06:37
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wangyong832

银虫 (著名写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by jedi-j at 2016-04-07 13:53:25
保证不行！！
1.电场及磁场不均匀
2.边角尖端放电
3.裂缝导致背版放电或反应
4.黏合剂污染

如果以上问题都不在乎，当然可以试试。

1. YSZ本身没有磁性，对磁场强度以及磁力线方向影响不大；
2. 我的非磁性合金靶 经我粘在铜上面  没有在缝隙处放电，可能与粘的方法有关。
3. 没有遇到过。
4. 粘合剂不会用在缝隙处，只用在和Cu基座接触的背面。
我们用直流磁控，很多靶都容易开裂，开裂的一个重要原因是冷却效果不好。经特殊银浆粘在一个原型的Cu基座上，冷却效果均匀。
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15楼2016-04-07 19:57:26
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)
引用回帖:
15楼: Originally posted by wangyong832 at 2016-04-07 19:57:26
1. YSZ本身没有磁性，对磁场强度以及磁力线方向影响不大；
2. 我的非磁性合金靶 经我粘在铜上面  没有在缝隙处放电，可能与粘的方法有关。
3. 没有遇到过。
4. 粘合剂不会用在缝隙处，只用在和Cu基座接触的背面 ...

虽然以前实验室作过溅镀，但主要经验在 TFT厂。
靶材是用铟合金焊在铜基板，另外 I-V已经进入异常辉光放电区域了…
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16楼2016-04-07 20:34:04
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普通回帖

贵金属靶材

新虫 (初入文坛)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
kevin123581: 金币+2, ★★★很有帮助 2016-04-08 11:13:17
本帖内容被屏蔽
5楼2016-04-07 09:24:03
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timyjia

新虫 (著名写手)
绝对不行的，污染了，而且高温融化了

发自小木虫Android客户端
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6楼2016-04-07 11:45:40
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jinpengfei at 2016-04-05 19:06:37
Y稳定氧化锆? 用导电胶在背面把靶材粘起来 放到靶材台子上 建议

是的，谢谢。
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7楼2016-04-07 12:37:49
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2016-04-06 10:00:42
个人认为应该是不行的。其一，胶水会参与到溅射的过程之中，造成薄膜中杂质的大量存在；其二，胶水粘结的再好也会存在裂纹缝隙，造成尖端放电，严重影响溅射的过程。

谢谢
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8楼2016-04-07 12:38:03
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by timyjia at 2016-04-07 11:45:40
绝对不行的，污染了，而且高温融化了

恩，谢谢，看来是不能用一般胶水
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9楼2016-04-07 12:41:23
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 贵金属靶材 at 2016-04-07 09:24:03
最好用导电银浆或铟再次绑定可以用的，其他胶水不太靠谱。但需注意裂缝处别挤进了银浆或铟，祝你好运

谢谢，我试下看看。我是PLD的，重新放在一个基底上厚度有点超过了，能用个薄片什么的代替么？ 比如玻璃的小薄片？
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10楼2016-04-07 12:42:27
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