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wangle_17

金虫 (正式写手)

[交流] 铝箔对磁控溅射有影响吗?

各位大神,射频磁控溅射真空腔体如何清洗啊?
                 在内壁贴一层铝箔对溅射有影响吗?
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
wangle_17(红舟流星代发): 金币+6, 代扣代发金币 2016-06-29 06:56:53
补充∶但是固定铝箔避免乱飘,和缝隙的放气略为影响抽气效率。以前我们实验室是直接作内套,保养时整个取出清洁。

发自小木虫Android客户端
9楼2016-04-06 13:35:33
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普通回帖

wangle_17(金币+1): 谢谢参与
2楼2016-04-05 13:37:42
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wangle_17(金币+1): 谢谢参与
3楼2016-04-05 13:43:33
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swallowzyx

木虫 (正式写手)

博士 创业者


wangle_17(金币+1): 谢谢参与
贴平整,别显著造成电场改变

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博士 创业者
4楼2016-04-05 14:07:41
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wangle_17

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by swallowzyx at 2016-04-05 14:07:41
贴平整,别显著造成电场改变

这么说铝箔还是对电场有一定的影响咯。有没有更好的办法?
5楼2016-04-05 14:13:16
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swallowzyx

木虫 (正式写手)

博士 创业者

在腔体壁上喷氮化硼,可能有用,但我自己没用过

发自小木虫Android客户端
博士 创业者
6楼2016-04-05 14:14:38
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wangle_17(金币+1): 谢谢参与
7楼2016-04-05 14:18:31
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
没有,腔体本身就是导体,作好共同接地就无碍。

发自小木虫Android客户端
8楼2016-04-06 13:31:27
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wangle_17

金虫 (正式写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by jedi-j at 2016-04-06 13:35:33
补充∶但是固定铝箔避免乱飘,和缝隙的放气略为影响抽气效率。以前我们实验室是直接作内套,保养时整个取出清洁。

谢谢
10楼2016-04-06 17:54:02
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