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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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wangle_17

金虫 (正式写手)

[交流] 铝箔对磁控溅射有影响吗?

各位大神,射频磁控溅射真空腔体如何清洗啊?
                 在内壁贴一层铝箔对溅射有影响吗?
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wangle_17

金虫 (正式写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by jedi-j at 2016-04-06 13:35:33
补充∶但是固定铝箔避免乱飘,和缝隙的放气略为影响抽气效率。以前我们实验室是直接作内套,保养时整个取出清洁。

谢谢
10楼2016-04-06 17:54:02
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查看全部 11 个回答

wangle_17(金币+1): 谢谢参与
2楼2016-04-05 13:37:42
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wangle_17(金币+1): 谢谢参与
3楼2016-04-05 13:43:33
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swallowzyx

木虫 (正式写手)

博士 创业者


wangle_17(金币+1): 谢谢参与
贴平整,别显著造成电场改变

发自小木虫Android客户端
博士 创业者
4楼2016-04-05 14:07:41
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