| 查看: 2693 | 回复: 9 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
有关真空镀膜偏压清洗的事情想问一下懂的人 已有1人参与
|
||
| 先介绍一下我的仪器是普通的电阻式的蒸镀仪器，但是当初老师买的时候预留了一下磁控溅射的部件准备将来加装的，气体流量计和偏压电源，做普通的蒸镀没有什么问题。我现在想用偏压对基片进行清洗，但是以前的人都没有用过，只有当时厂家留下的一点点信息。看到上面写在2-3pa通氩气加偏压进行辉光清洗的，我想问一下2-3pa的情况下进行清洗要不要开分子泵，我机器机械泵抽零点几帕还是可以的，能不能就在抽粗真空的时候进行清洗。还有如果要开分子泵清洗的话，第一次用的时候有没有什么要注意的，会不会出现通的氩气气压太大进入分子泵出问题的。我没有用过磁控溅射的设备所以不是很清楚通气的事情，有没有同学指导一下。 |
回复此楼» 猜你喜欢
THYTYJHSRT
已经有0人回复
-
FGHNSRTGHS
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有214人回复
-
SJYNSRTFHY
已经有0人回复
-
DTYHJNSRTGN
已经有0人回复
-
北大核心期刊目录
已经有2人回复
-
英国伦敦格林威治大学招收冶金/材料学数值仿真博士/博士后
已经有0人回复
-
求助ZrH1.6x的cif文件
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
5楼2016-04-04 12:09:52
|
1.分子泵要开，2-3pa，分子泵可以正常工作，并且在分子泵和镀膜室之间有个调压阀，分子泵泵口的实际压力是优于2-3pa的；另溅射或清洗前需要分子泵把本底真空抽到10-3pa以上。2.充气时，先打开调压阀，再打开流量计慢慢调节流量，注意观察真空度。一般很好稳定在想要的真空度。 发自小木虫Android客户端 |
2楼2016-04-04 07:55:54
|
我们这个好像没有调压阀的，分子泵和腔室之间那个阀要么开要么关的。抽到10负3开截止阀，没开流量计管路里的大气进入腔室，会不会对电离规和分子泵有影响。还有做普通的蒸镀，偏压清洗作用大不大。 发自小木虫IOS客户端 |
3楼2016-04-04 10:13:40
4楼2016-04-04 12:07:22
