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yinuolixuan金虫 (小有名气)
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[交流]
磁控溅射的等离子体气体问题 已有3人参与
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| 磁控溅射中我们一般选用的是氩气，上次也有听说选用氪的，关于这个是有什么分别？我用N2试过，反而生长的比氩气还要快，这个是为什么？样品生长的快慢在其他条件不变的情况下和等离子体的种类有什么关系？ |
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aaron5235
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