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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 磁控溅射的等离子体气体问题
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yinuolixuan

金虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射的等离子体气体问题 已有3人参与

磁控溅射中我们一般选用的是氩气，上次也有听说选用氪的，关于这个是有什么分别？我用N2试过，反而生长的比氩气还要快，这个是为什么？样品生长的快慢在其他条件不变的情况下和等离子体的种类有什么关系？
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1楼 2016-04-02 16:20:11
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zctf

铁虫 (正式写手)
氮气。。会反应吧。。

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劣质反应釜。。。
2楼2016-04-03 10:23:01
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
理论上讲，氩气应该比氮气快，即氩的溅射产额高。惰性气体氩氪氙溅射产额依次升高。

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3楼2016-04-04 12:18:04
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aaron5235

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
原子半径不同，离化能不同。

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人生在世，俯仰之间，唯有追求卓越，但求尽其所能
4楼2016-04-06 07:21:43
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