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1154606018

新虫 (小有名气)

[求助] 请问PECVD淀积钝化膜之后还需不需要N2氛围中退火处理啊 已有3人参与

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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
只有金属膜需要退火

发自小木虫Android客户端
2楼2016-03-31 07:22:41
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士


不需要
3楼2016-04-01 08:55:34
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士


有的做回流是需要做退火的
4楼2016-04-01 08:55:51
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1154606018

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by dezhuli at 2016-04-01 08:55:51
有的做回流是需要做退火的

回流是什么?钝化膜沉积之后为何做回流?钝化膜退火的作用又是什么?

发自小木虫Android客户端
5楼2016-04-03 15:41:02
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ju5200

木虫 (正式写手)

6楼2016-04-04 16:42:19
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盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)

专家


【答案】应助回帖

不用的,因为应力产生和金属有差别
7楼2016-04-10 10:47:50
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wjx513513

铜虫 (小有名气)

看你的需求,退火对膜的部分指标有影响

发自小木虫Android客户端
8楼2016-04-15 00:42:26
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1154606018

新虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by wjx513513 at 2016-04-15 00:42:26
看你的需求,退火对膜的部分指标有影响

比如什么指标呢?在这里的退火的作用是什么

发自小木虫Android客户端
9楼2016-04-15 08:49:42
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

看你的厚度,如果厚度很小小几百纳米以内,不用。 如果厚度大的话还是需要的,一般用N2,也可以用N2和O2
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
10楼2016-05-18 21:24:43
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