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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 请问PECVD淀积钝化膜之后还需不需要N2氛围中退火处理啊
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1154606018

新虫 (小有名气)

[求助] 请问PECVD淀积钝化膜之后还需不需要N2氛围中退火处理啊已有3人参与

RT，谢谢

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1楼2016-03-31 00:07:38
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盟维科技

捐助贵宾 (小有名气)

专家

【答案】应助回帖

不用的，因为应力产生和金属有差别
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7楼2016-04-10 10:47:50
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
只有金属膜需要退火

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2楼2016-03-31 07:22:41
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士
有的做回流是需要做退火的
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4楼2016-04-01 08:55:51
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1154606018

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by dezhuli at 2016-04-01 08:55:51
有的做回流是需要做退火的

回流是什么?钝化膜沉积之后为何做回流?钝化膜退火的作用又是什么？

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5楼2016-04-03 15:41:02
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