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TRIM 模拟离子注入深度 已有1人参与
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样品离子注入采用C5+-270kV-1.35MeV束流,束斑大小1.6cm×1.7cm,束斑均匀。调整均匀束斑后,在靶流强只有0.5euA,剂量3.0×1016粒子/cm2,辐照用时36h。 基底为金刚石紫晶,求大神用TRIM 软件来模拟一下注入深度 。谢谢 |
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