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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 晶体软件 » TRIM 模拟离子注入深度
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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雪夜血狼

新虫 (初入文坛)

[交流] TRIM 模拟离子注入深度 已有1人参与

样品离子注入采用C5+-270kV-1.35MeV束流，束斑大小1.6cm×1.7cm，束斑均匀。调整均匀束斑后，在靶流强只有0.5euA，剂量3.0×1016粒子/cm2，辐照用时36h。
基底为金刚石紫晶，求大神用TRIM 软件来模拟一下注入深度 。谢谢
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1楼 2016-03-28 16:36:57
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zzzzzdu

新虫 (初入文坛)
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引用回帖:
1楼: Originally posted by 雪夜血狼 at 2016-03-28 16:36:57
样品离子注入采用C5+-270kV-1.35MeV束流，束斑大小1.6cm×1.7cm，束斑均匀。调整均匀束斑后，在靶流强只有0.5euA，剂量3.0×1016粒子/cm2，辐照用时36h。
基底为金刚石紫晶，求大神用TRIM 软件来模拟一下注入深度  ...

请问如何在trim中设置金刚石材料

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2楼2018-09-25 18:05:30
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zzzzzdu

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问楼主，金刚石靶材的表面结合能，晶格束缚能，位移阈值是多少，网上没看到过这些参数啊，急求！谢谢！

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3楼2018-09-26 18:49:12
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