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雪夜血狼

新虫 (初入文坛)

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[交流] TRIM 模拟离子注入深度已有1人参与

样品离子注入采用C5+-270kV-1.35MeV束流，束斑大小1.6cm×1.7cm，束斑均匀。调整均匀束斑后，在靶流强只有0.5euA，剂量3.0×1016粒子/cm2，辐照用时36h。
基底为金刚石紫晶，求大神用TRIM 软件来模拟一下注入深度。谢谢

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1楼 2016-03-28 16:36:57

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zzzzzdu

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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专业: 半导体电子器件

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

1楼: Originally posted by 雪夜血狼 at 2016-03-28 16:36:57
样品离子注入采用C5+-270kV-1.35MeV束流，束斑大小1.6cm×1.7cm，束斑均匀。调整均匀束斑后，在靶流强只有0.5euA，剂量3.0×1016粒子/cm2，辐照用时36h。
基底为金刚石紫晶，求大神用TRIM 软件来模拟一下注入深度 ...

请问如何在trim中设置金刚石材料