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wsm1973a

新虫 (小有名气)

[求助] XRd摇摆曲线可以分析晶体的什么信息 已有1人参与

请问各位:

   XRd摇摆曲线可以分析晶体的什么信息,薄膜生长的质量从XRd能看出吗?

              谢谢!
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
看是什么薄膜,氧化膜,金属膜,晶体epi外延分析方法都不一样

发自小木虫Android客户端
3楼2016-03-26 16:23:14
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dorrnm

金虫 (小有名气)

可以看出来晶体测试晶向的缺陷密度

发自小木虫Android客户端
2楼2016-03-26 16:21:28
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wsm1973a

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-26 16:23:14
看是什么薄膜,氧化膜,金属膜,晶体epi外延分析方法都不一样

如果是半导体薄膜呢?
4楼2016-03-28 08:42:29
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dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by wsm1973a at 2016-03-28 08:42:29
如果是半导体薄膜呢?...

用xrd的摇摆曲线可以知道缺陷信息,峰的半宽越宽缺陷越多,膜质量越差,具体是是哪种缺陷要看你的测试方法。

发自小木虫Android客户端
5楼2016-03-28 18:54:21
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