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金虫 (小有名气)

[求助] GaAs衬底的参数已有1人参与

新手第一次，购买GaAs衬底做外延用的，但是衡量GaAs参数中主参考面OF,次参考面IF表示什么,还有那个angle指哪个角度？角度对衬底表面有什么影响？后面的length又表示哪个长度？求详细解释。。。。。谢谢！！！

2016-03-25_170227.pnghttp://muchongimg.xmcimg.com/data/bcs/2016/0325/bw537h3322442_1458896929_173.png

1楼 2016-03-25 17:14:14

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银虫 (初入文坛)

衬底一般至少有一条参考边，有些有两条，称为OF、IF参考边，可以用来作外延后芯片切割方向的参考，angle是指相对于主参考边（OF）偏转的角度，不同的角度所对应的晶向是不一样的，后面的length就是OF、IF的长度

2楼2016-04-01 16:51:31

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