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garden2012

金虫 (小有名气)

[求助] GaAs衬底的参数已有1人参与

新手第一次,购买GaAs衬底做外延用的,但是衡量GaAs参数中主参考面OF,次参考面IF表示什么,还有那个angle指哪个角度?角度对衬底表面有什么影响?后面的length又表示哪个长度?求详细解释。。。。。谢谢!!!

GaAs衬底的参数
2016-03-25_170227.pnghttp://muchongimg.xmcimg.com/data/bcs/2016/0325/bw537h3322442_1458896929_173.png
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BadBoy杰仔

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

衬底一般至少有一条参考边,有些有两条,称为OF、IF参考边,可以用来作外延后芯片切割方向的参考,angle是指相对于主参考边(OF)偏转的角度,不同的角度所对应的晶向是不一样的,后面的length就是OF、IF的长度
2楼2016-04-01 16:51:31
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