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我的芝麻

木虫 (小有名气)

[交流] 请问哪里可以做多晶硅?

各路大神,请问国内哪里可以做多晶硅?本人制作器件的大部分工艺都可以在苏州纳米所完成,但是这边做不了多晶硅,想请问国内哪里可以做?对衬底有什么要求?稳定性如何?
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用心做好一件事
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士



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6楼: Originally posted by 我的芝麻 at 2016-03-23 09:44:01
请问贵公司叫什么名字?对衬底有没有要求?生长质量如何?我们打算生长500nm厚...

苏州佳斯轩电子科技有限公司
9楼2016-03-24 08:48:37
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我的芝麻

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2016-03-22 21:41:37
做薄膜吗

是啊,生长一层多晶硅薄膜,厚度大概500nm左右,后期要对它进行掺杂等工艺,请问您知道在哪里可以做吗?
用心做好一件事
4楼2016-03-23 09:01:18
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假大空

木虫之王 (文学泰斗)


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7楼2016-03-23 10:04:30
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士



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6楼: Originally posted by 我的芝麻 at 2016-03-23 09:44:01
请问贵公司叫什么名字?对衬底有没有要求?生长质量如何?我们打算生长500nm厚...

我们公司LPCVD生长的多晶硅,石英玻璃的也可以做,尺寸4、6寸的双面生长,质量好,可以生长500nm.具体的加我QQ聊
8楼2016-03-24 08:44:01
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