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chem_hch

金虫 (小有名气)

[交流] 初次做SEM,在高加速电压下,为什么反而对不上焦? 已有6人参与

扫描电镜新手,第一次做SEM,用的是  日立SU8000 冷场发射。
   在低加速电压(5kV左右)下,对焦后,基本上可以看清样品,但有些模糊。就想加大加速电压,来得到更清晰的像,大概加到15kV左右,结果得到的像十分模糊,完全看不清,甚至是基本轮廓也很模糊,无论怎么对焦都不行。
   所以,想来请教下,这是为什么?是不是还需要做一些其他的设置什么的?
   不胜感激!!
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chem_hch

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 18340833790 at 2016-03-18 19:54:26
加速电压和spot大小综合调节

谢谢您的指点。
那这个束斑尺寸的调节,有没有什么规律呢?还是说,要一直调试 直到 图像清晰为之?
7楼2016-03-18 22:07:23
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18340833790

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
加速电压和spot大小综合调节
专注,ok!
2楼2016-03-18 19:54:26
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时移事异

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道放大倍数多少,有可能是像散的原因

发自小木虫Android客户端
4楼2016-03-18 20:56:17
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时移事异

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果对焦,像散都试了,来回调过。那可能是wobble的原因

发自小木虫Android客户端
5楼2016-03-18 20:59:03
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