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chem_hch

金虫 (小有名气)

[交流] 初次做SEM,在高加速电压下,为什么反而对不上焦? 已有6人参与

扫描电镜新手,第一次做SEM,用的是  日立SU8000 冷场发射。
   在低加速电压(5kV左右)下,对焦后,基本上可以看清样品,但有些模糊。就想加大加速电压,来得到更清晰的像,大概加到15kV左右,结果得到的像十分模糊,完全看不清,甚至是基本轮廓也很模糊,无论怎么对焦都不行。
   所以,想来请教下,这是为什么?是不是还需要做一些其他的设置什么的?
   不胜感激!!
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时移事异

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by chem_hch at 2016-03-18 22:04:26
感谢您的指点。
放大倍数 不是很大 1万2千倍的 样子……
您说的像散 是不是  这个地方设置的。 如果是这个,那我已经调整过了,这个应该是没问题的。
您说的,wobble 这个是怎么回事?...

wobble就是灯丝对中的意思,我用的是蔡司supra 55,可能日立的叫法不同。在灯丝没有对中的情况下,几千倍怎么调都不会清楚。如果这个也没问题,你再看看光阑(有些叫束斑直径)

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8楼2016-03-18 22:17:19
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普通回帖

18340833790

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
加速电压和spot大小综合调节
专注,ok!
2楼2016-03-18 19:54:26
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athuakai

新虫 (初入文坛)

3楼2016-03-18 20:44:18
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时移事异

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道放大倍数多少,有可能是像散的原因

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4楼2016-03-18 20:56:17
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时移事异

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果对焦,像散都试了,来回调过。那可能是wobble的原因

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5楼2016-03-18 20:59:03
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chem_hch

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 时移事异 at 2016-03-18 20:59:03
如果对焦,像散都试了,来回调过。那可能是wobble的原因

感谢您的指点。
放大倍数 不是很大 1万2千倍的 样子……
您说的像散 是不是 初次做SEM,在高加速电压下,为什么反而对不上焦? 这个地方设置的。 如果是这个,那我已经调整过了,这个应该是没问题的。
您说的,wobble 这个是怎么回事?
6楼2016-03-18 22:04:26
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chem_hch

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 18340833790 at 2016-03-18 19:54:26
加速电压和spot大小综合调节

谢谢您的指点。
那这个束斑尺寸的调节,有没有什么规律呢?还是说,要一直调试 直到 图像清晰为之?
7楼2016-03-18 22:07:23
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18256959829

木虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
试样有磁性么?有的话就不行

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9楼2016-03-18 22:36:00
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chem_hch

金虫 (小有名气)

送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by 时移事异 at 2016-03-18 22:17:19
wobble就是灯丝对中的意思,我用的是蔡司supra 55,可能日立的叫法不同。在灯丝没有对中的情况下,几千倍怎么调都不会清楚。如果这个也没问题,你再看看光阑(有些叫束斑直径)
...

谢谢您得指点,我下次去做的时候就去调调看……
10楼2016-03-19 10:12:03
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