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soeyoung铜虫 (初入文坛)
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硅片表面磁控溅射氧化铝-氧化钇，想要做热重
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如题。在硅片上面反应磁控溅射镀上一层氧化铝-氧化钇，大约几百纳米，想要做TG/DSC/DTA都行。但是需要把硅片给溶解了，才能能到薄膜粉末，第一次想要做这样的测试，请问怎么才能把硅片溶解。 做热重的时候可以用氧化铝坩埚吗？ 谢谢大家了 |
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