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肉山叔叔

金虫 (小有名气)

[求助] 光刻胶以后用ald与磁控溅射镀生长膜之后胶去不掉 已有2人参与

用丙酮泡了两天了都,镀的电极能去掉,这个怎么就去不掉呢

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open93

新虫 (初入文坛)

请问最后去掉了么?用什么方法呢?小弟目前也遇到了类似的问题,用的是激光直写。
4楼2018-09-05 17:03:15
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Eric钟

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

用ALD沉积了Al2O3在試片上?
被ALD膜包住, 成了"薄膜封裝"了.
用KOH(氫氧化钾)溶液試試.
2楼2016-03-22 18:17:56
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

ALD与磁控溅射镀膜时温度较高吗?
3楼2016-04-05 10:18:20
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