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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 光刻胶以后用ald与磁控溅射镀生长膜之后胶去不掉
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肉山叔叔

金虫 (小有名气)

[求助] 光刻胶以后用ald与磁控溅射镀生长膜之后胶去不掉 已有2人参与

用丙酮泡了两天了都，镀的电极能去掉，这个怎么就去不掉呢

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1楼 2016-03-17 11:38:16
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Eric钟

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

用ALD沉积了Al2O3在試片上?
被ALD膜包住, 成了"薄膜封裝"了.
用KOH(氫氧化钾)溶液試試.
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2楼2016-03-22 18:17:56
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

ALD与磁控溅射镀膜时温度较高吗？
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3楼2016-04-05 10:18:20
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open93

新虫 (初入文坛)
请问最后去掉了么？用什么方法呢？小弟目前也遇到了类似的问题，用的是激光直写。
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4楼2018-09-05 17:03:15
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