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请问RIE（反应离子刻蚀）怎么刻蚀FTO片子？该用什么气体？大致的反应条件是多少？
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| 小弟想用RIE刻蚀掉FTO上的那层含氟SnO2薄膜，应该用什么气体和条件呢？求助大神 |
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